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情報

高分解能電界放射型走査電子顕微鏡 (FE-SEM)

共用機器番号:3
装置名:
冷陰極電界放射型走査電子顕微鏡 Hitachi S-4500

設置場所:
理学部1号館中央棟 地下2階 B238室「走査電子顕微鏡室」

原理と特徴:
冷陰極電界放射型の電子銃を搭載した走査電子顕微鏡(SEM)で,この電子銃の高輝度と低エネルギー幅により10万倍以上の高分解能観察が可能.同時にこ の電子顕微鏡は,以下の6つの信号検出器を試料室の周囲の配置し,試料から様々な情報を得ることができる.
(1)上方二次電子検出器  (2)下方二次電子検出器 (3)高感度反射電子(BSE)検出器 (4)エネルギー分散型X線(EDS)検出器 (5)二次元後方反射電子回折(EBSD)検出器 (6)半導体型前方反射電子(FSE)検出器

装置担当者:
市村康治 Tel: 24557 ichimura[@]eps.s.u-tokyo.ac.jp

FE-SEM